Số liệu đánh giá hiệu suất cảm biến bao gồm các số liệu tĩnh như độ phân giải, độ nhạy, độ tuyến tính, độ lặp lại, độ trễ và độ ổn định cũng như các số liệu động như tần số lấy mẫu và phản hồi bước. Độ chính xác tích hợp tuyến tính, độ trễ và độ lặp lại; ví dụ: độ chính xác tối đa của cảm biến có độ chính xác cao- dòng OMEGA PX409 là ±0,08% BSL và độ chính xác của cảm biến GT2-P12KL là 1 µm (p-p). Độ phân giải đề cập đến sự thay đổi đầu vào nhỏ nhất mà cảm biến có thể phát hiện; độ phân giải của cảm biến GT2-P12KL là 0,1 µm. Thời gian phản hồi ảnh hưởng đến hiệu suất động; thời gian phản hồi của dòng PX409 nhỏ hơn 1 mili giây và thời gian phản hồi của cảm biến dòng Hall vòng-đóng CR1V chỉ là 1 μs. Băng thông đề cập đến dải tần đáp ứng; băng thông của dòng PX409 là DC ~ 1 kHz (thông thường) và băng thông của cảm biến CR1V là 200 kHz. Phạm vi nhiệt độ hoạt động đảm bảo cảm biến có thể hoạt động trong các môi trường cụ thể; phạm vi nhiệt độ hoạt động của dòng PX409 là -45 ~ 121 độ. Xếp hạng bảo vệ như IP67 bảo vệ cảm biến khỏi ảnh hưởng của môi trường. Sự ổn định lâu dài đề cập đến những thay đổi về hiệu suất theo thời gian; độ ổn định lâu dài (1 năm) của dòng PX409 thường là ±0,1% toàn thang đo.
Việc lựa chọn yêu cầu đánh giá toàn diện trên bốn khía cạnh: độ chính xác, phản hồi động, khả năng thích ứng với môi trường và khả năng tương thích giao diện để phù hợp với nhu cầu của các tình huống tự động hóa khác nhau. Độ chính xác là chỉ số cốt lõi của cảm biến, nhưng việc theo đuổi độ chính xác cao một cách mù quáng có thể khiến chi phí tăng vọt; sự cân bằng động phải được thực hiện dựa trên yêu cầu ứng dụng. Xác định phạm vi và mức độ chính xác theo yêu cầu của quy trình; nên chọn cảm biến có phạm vi gấp 1,5 lần tải tối đa dự kiến. Khả năng thích ứng với môi trường bao gồm nhiệt độ, mức bảo vệ và khả năng chống{4}}nhiễu. Ví dụ: môi trường ẩm ướt yêu cầu mức bảo vệ IP67, môi trường nhiều bụi phải sử dụng cấu trúc kín hoàn toàn và phải đạt được 5 năm không-không xảy ra lỗi trong môi trường khí ăn mòn. Về khả năng tương thích giao diện, ưu tiên các cảm biến kỹ thuật số hỗ trợ các giao thức công nghiệp như RS485 và CANopen để dễ dàng giao tiếp với PLC và bộ điều khiển robot.
