Cảm biến tải trọng thu nhỏ là thiết bị đo lực chính xác-được phát triển dựa trên công nghệ Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS). Thuộc danh mục thiết bị vi cơ điện tử, bước đột phá công nghệ cốt lõi của chúng nằm ở việc tối ưu hóa kích thước nano của các phần tử cảm biến áp điện bán dẫn.
Cảm biến tải trọng thu nhỏ chủ yếu thực hiện phép đo bằng cách tạo ra tín hiệu điện thông qua biến dạng cơ học của màng ngăn thu nhỏ. Thành phần cốt lõi sử dụng máy đo biến dạng MEMS. Những cảm biến này có thể được thu nhỏ đến kích thước vài mm và chỉ nặng vài gram. Công nghệ đóng gói hỗn hợp sử dụng cấu trúc hai lớp-kim loại silicon{4}}, cung cấp khả năng chống ẩm và chống bụi đồng thời kiểm soát độ lệch nhiệt độ trong phạm vi ±0,005%/độ .
Cảm biến tải trọng thu nhỏ bao gồm hai loại chính: cảm biến áp suất thu nhỏ và gia tốc kế thu nhỏ. Chúng có thể được tích hợp vào các thiết bị đeo thông minh (chẳng hạn như chức năng theo dõi trọng lượng trong đồng hồ thông minh), thiết bị điện tử tiêu dùng (chẳng hạn như nút-nhạy cảm với áp suất trên điện thoại thông minh), cân dây chuyền sản xuất công nghiệp, đo lường bao bì, cân đối vật liệu và thiết bị y tế (chẳng hạn như hệ thống phản hồi lực chung trong robot phẫu thuật), mở rộng ranh giới ứng dụng của cảm biến tải trọng.