Nguyên tắc cốt lõi của cảm biến có độ chính xác cao{0}}nằm ở việc chuyển đổi đại lượng đo được thành tín hiệu điện chính xác, ổn định và đáng tin cậy thông qua thiết kế chính xác, quy trình sản xuất tiên tiến, thuật toán xử lý tín hiệu phức tạp và kỹ thuật bù lỗi nghiêm ngặt. Các khía cạnh chính của việc đạt được độ chính xác cao bao gồm: tối ưu hóa các nguyên tắc cảm biến cơ bản, vật liệu-hiệu suất cao và cấu trúc chính xác, quy trình sản xuất tiên tiến (chẳng hạn như MEMS), độ ồn-thấp, mạch điện tử có độ chính xác cao-, bù nhiệt độ, phi tuyến tính và tuyến tính hóa, hiệu chuẩn và tiêu chuẩn hóa, xử lý tín hiệu số cũng như triệt tiêu nhiễu và che chắn. Ý tưởng cốt lõi là hiểu sâu sắc và định lượng tất cả các nguồn lỗi có thể xảy ra và tích cực loại bỏ hoặc bù đắp những lỗi này thông qua thiết kế hợp tác giữa phần cứng và phần mềm.
Trong lĩnh vực sản xuất và kiểm tra chính xác, các cảm biến có độ chính xác-cao được sử dụng để đo-độ dịch chuyển, kích thước và địa hình bề mặt có độ chính xác cao, chẳng hạn như cảm biến tiếp xúc loại GT2-P12KL-để phát hiện mức micron.
Trong lĩnh vực kiểm soát và giám sát quy trình, các cảm biến có độ chính xác cao-được sử dụng trong các môi trường công nghiệp khắc nghiệt như ngành hóa chất và năng lượng để giám sát có độ tin cậy cao đối với các thông số quy trình chính như áp suất, nhiệt độ và tốc độ dòng chảy, chẳng hạn như các cảm biến áp suất có độ chính xác cao-dòng OMEGA PX409.
