Cảm biến tải trọng thu nhỏ là thiết bị đo lực chính xác-được phát triển dựa trên công nghệ Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS). Thuộc loại thiết bị vi cơ điện tử, kích thước của chúng có thể giảm xuống vài mm và trọng lượng chỉ còn vài gam. Chúng chủ yếu đạt được phép đo bằng cách tạo ra tín hiệu điện thông qua biến dạng cơ học của màng ngăn thu nhỏ. Thành phần cốt lõi của chúng là máy đo biến dạng MEMS, được kết hợp với nền thép không gỉ và kính-có nhiệt độ cao sử dụng công nghệ tiên tiến.
Thiết bị này bao gồm các loại như cảm biến áp suất thu nhỏ và gia tốc kế thu nhỏ, có độ nhạy cao-độ biến dạng thấp, hoạt động trên-phạm vi và mô-đun bù nhiệt-tích hợp sẵn. Công nghệ đóng gói composite có thể kiểm soát độ lệch nhiệt độ trong phạm vi ±0,005%/độ. Các ứng dụng của nó đã mở rộng sang các thiết bị đeo thông minh, thiết bị điện tử tiêu dùng, hệ thống truyền động bảng điều khiển năng lượng mặt trời vệ tinh, hệ thống phản hồi lực chung của robot phẫu thuật, giám sát áp suất đường tiêu hóa dạng nuốt, kho bãi thông minh IoT và hệ thống cảnh báo sớm thoát nhiệt cho bộ pin xe năng lượng mới.